石墨舟裝片房:用于太陽能職業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、制作中效及高效過濾器,確保吹出的空氣抵達(dá)凈化要求。石墨舟作業(yè)原理: 空氣經(jīng)過高效過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片作業(yè)區(qū),然后確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。石墨舟主要特點(diǎn): 1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位; 2、選用不銹鋼制作,整機(jī)結(jié)構(gòu)穩(wěn)固可靠; 3、選用GK系列高效空氣過濾器3只; 4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉(zhuǎn)180度; 5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。 6、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度100級(jí)。